隨著半導體行業的不斷創新， ifm為智能半導體制造提供了一系列的創新解決方案，旨在提升質量、提高產量，并實現可持續發展目標。
今天先聊一下ifm半導體制造中的Sub-fab（工廠輔助設施）流程如何從自動化中獲益，尤其是工廠如何通過實時監控實現降本增效。
化學品輸送系統（CDS）
化學品被廣泛用于半導體生產的多個階段，如沉積、光刻膠涂覆、光刻、蝕刻、清洗、薄膜沉積和拋光。為確保化學品的純度，非接觸式液位測量被廣泛用于檢測化學品液位。電容式測量技術只需進行簡單的空罐調整并輔以實現理想設置的顯示指南，就能克服管道或儲罐壁上的氣泡或附著物所帶來的挑戰。
KQ10系列連續性監控液位傳感器：
安裝在非金屬儲罐外壁，即可進行料位監測
配備清晰可見的LED，百分比顯示輕松掌握液位變化
提供三個點料位監測位置，可靠區分空載，滿載和溢流狀態
KI60系列電容式接近開關：
可在介質內或介質外運行
可透過非金屬儲罐壁進行檢測，抑制沉積物的影響
采用IO-Link技術，將點液位檢測系統升級為實時液位狀態監測
通過持續監測泵的健康狀況進行預測性維護，提高設備可用性
在半導體制造過程中，真空是半導體生產中各個工序廣泛使用的支持系統。擴散、沉積和蝕刻等許多工藝都是在受控環境中進行，而干式真空泵對于創建和保持無菌環境至關重要。
01基于振動監測的預測性維護
ifm 振動傳感器可監測泵的健康狀況，防止增壓泵和干泵發生災難性故障，導致長時間的可用性損失。振動系統可同時監測五個方面的機器問題：沖擊、疲勞、摩擦、嚴重程度和溫度。它們還能監測滾動軸承等特定機器部件，實時監控這些數據使傳感器能夠檢測到即將發生的故障，減少計劃外停機時間。ifm的VSA振動傳感器和VSE振動分析模塊，能為真空泵的故障診斷提供數據支持，在其效率低下時發出警示，實現能源優化。
02通過持續監測流量確保適當的冷卻效果
冷卻水用于散發泵內壓縮過程中產生的熱量。冷卻工藝對于保持泵的壽命和效率也不可小覷。傳統的機械式流量計會隨著時間的推移而損壞或卡住。ifm的SU 超聲波流量計提供高精度測量，無任何機械部件或障礙物，從而能最大限度地減少壓降。
03通過連續測量溫度保持泵的功能
泵的外殼溫度升高表明摩擦增加，這也可能會導致泵故障。使用TP+TS分體式測溫方案對泵體表面溫度進行監測，對于保持泵的健康狀態，避免代價高昂的停機時間至關重要。
通過IO-Link，可將傳感器采集到的所有數據發送到本地部署的更高層級軟件系統，以便進行趨勢預測和分析，工廠可以使用該實時數據來實時監測設備健康狀況。
超純水系統
01通過電導率測量確保水質
在半導體等眾多行業中，超純水系統的完整性非常關鍵，因為即使是微小的雜質也會導致重大的生產損失，導致數百小時的半導體晶圓生產無效。水的電導率是反映其純度的重要標志。ifm的LDL電導率傳感器就是一種高性價比解決方案，它能夠實時監測水質，指導凈化工藝的調整，確保供水系統的穩定和高效運行。它可檢測水中低至0.04μS/cm的電導率，持續控制制水過程質量。
02超純水出水管 | 產出流量監測
通過準確監測對各種機器的超純水供應，可以確保工藝的一致性和產品質量。SU Puresonic超聲波流量傳感器采用超聲波技術，可精確測量高達1000L/min的超純水或水的流量，集成溫度測量功能，它提供高度準確的在線測量過程，可消除壁厚和管道材料變化的任何影響。
03通過高準確度液位測量改善水的分配
保持精確的水位可以防止儲存和分配期間發生污染。液位監測可以確保資源的可用性、防止干轉并優化水的利用率，所有這些對制造過程中的資源節約至關重要。
機械式浮動開關會被卡住，導致錯誤的液位指示，造成超純水處理系統過早關閉。ifm的LW非接觸式雷達液位傳感器沒有任何運動部件，可安裝在產品儲罐的外側，避免與金屬部件接觸并確保產品質量。80 GHz測量技術可以對所有高達10 米的儲罐進行高精度測量（± 2 mm），減少體積計算的誤差。
想要了解ifm產品在半導體行業中的更多應用，請點擊這里下載更多資料。
