晶圓是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵材料，非常脆弱，容易受到振動、溫度變化和污染的影響。因此，晶圓傳輸對精度、速度和潔凈度要求極高，任何微小振動或定位偏差都可能導(dǎo)致產(chǎn)品良率下降。尤其是隨著300mm以上晶圓和2.5D/3D封裝技術(shù)的發(fā)展，對伺服系統(tǒng)提出了更高要求。

Elmo作為全球知名的運(yùn)動控制系統(tǒng)及運(yùn)動控制解決方案供應(yīng)商，擁有SimpIIQ、Gold、Platinum和Titanium等多個系列伺服驅(qū)動系列產(chǎn)品，可以為半導(dǎo)體制造工藝全流程提供高性能驅(qū)動控制解決方案。

為什么選擇Elmo伺服系統(tǒng)?

以Elmo大功率伺服驅(qū)動器Platinum系列為例，該系列在速度、伺服性能、帶寬、精度和控制能力上，相對于Elmo明星產(chǎn)品Gold系列都做了大幅升級，可以更好地滿足晶圓傳輸對運(yùn)動控制的嚴(yán)苛要求。

小身材大能量滿足微縮工藝

以Elmo Platinum Twitter驅(qū)動器為例，最小尺寸為35 x 30 mm，僅有一個火柴盒的大小，完全滿足半導(dǎo)體制作工序持續(xù)微縮的需求，同時可提供最高5600W的連續(xù)功率，確保晶圓在傳輸過程中高效可靠。

納米級運(yùn)動控制實現(xiàn)精準(zhǔn)定位

采用高分辨率編碼器和先進(jìn)電流環(huán)控制技術(shù)，搭配Platinum Maestro先進(jìn)的雙核運(yùn)動控制技術(shù)，實現(xiàn)納米級精度的運(yùn)動控制。

多軸協(xié)同控制提升傳輸效率

支持EtherCAT總線通訊，循環(huán)時間可達(dá)100 us，高協(xié)同性，可忽略的抖動和近乎零延遲。

抖動抑制技術(shù)保證脆性材料穩(wěn)定傳輸

通過諧波補(bǔ)償算法，將靜止位置波動控制在極其微小的范圍以內(nèi)，確保晶圓在傳輸時的穩(wěn)定性。

監(jiān)測和分析伺服驅(qū)動器的各項特點和功能

通過EASII軟件編寫程序，維護(hù)和分析運(yùn)動過程，EASII還可以配置程序，輕松實現(xiàn)運(yùn)動控制配置、驅(qū)動調(diào)整、參數(shù)記錄等。

目前，Elmo開發(fā)了最新一代基于氮化鎵功率開關(guān)技術(shù)的Titanium系列，該系列驅(qū)動器的開關(guān)應(yīng)用材料做了全新升級，相對于傳統(tǒng)的開關(guān)控制器，在開關(guān)頻率和輸出的功率上得到了進(jìn)一步的提升，在盡可能節(jié)省空間的情況下，能夠近一步提升運(yùn)動控制的效率，節(jié)約成本，相信隨著Titanium系列的上市及更多實際應(yīng)用，未來將重塑半導(dǎo)體制造新驅(qū)動。

關(guān)于Elmo

埃莫(Elmo)公司總部位于以色列，在美國、中國、德國、意大利、韓國、波蘭和英國設(shè)有辦事處，是高性能運(yùn)動控制技術(shù)的全球領(lǐng)導(dǎo)者。

我們提供完整的運(yùn)動解決方案，設(shè)計并制造尖端伺服驅(qū)動器，基于網(wǎng)絡(luò)的多軸運(yùn)動控制器和集成伺服電機(jī)。所有產(chǎn)品均可通過埃莫先進(jìn)且簡單易用的世界一流軟件工具整定和配置。憑借令人贊嘆的先進(jìn)技術(shù)，我們致力于推動全球的運(yùn)動控制行業(yè)的發(fā)展，迄今已有數(shù)百萬臺驅(qū)動裝置運(yùn)行在世界各地，從工業(yè)到航空，從半導(dǎo)體到激光，從機(jī)器人到無人駕駛，有效提升各行業(yè)的機(jī)器性能。自2022年起，Elmo成為博世力士樂旗下公司 。