在半導體制造中，光刻機負責將電路圖案刻在晶圓上，而晶圓在工序中傳輸時，精準定位與精確計數是流程的關鍵。研發手動光刻機時，廠商面臨多重挑戰，晶圓存于傳輸盒需逐層拾取，要確保每層單張避免疊加。設備底部安裝空間狹小，底層晶圓距傳感器僅約 20 毫米，常規傳感器因盲區無法檢測。同時，還需在保證檢測精度與成本的同時，實現數據實時采集和設備預防性維護，以保障光刻機穩定高效運行。
堡盟U300：小身材大能量的破局之道
核心應用場景：晶圓蛋糕盒的 “智能慧眼”
堡盟U300超聲波傳感器被安裝于晶圓蛋糕盒底部，通過聲錐自下而上掃描每層晶圓，實現兩大關鍵功能：
l 距離檢測定位：精準測量晶圓位置，確保拾取路徑準確;
l 計數管理：通過層數信號反饋，避免多片拾取或漏檢。
為什么選擇堡盟？三大優勢直擊痛點
緊湊設計+超短盲區
狹小空間的“量身定制”
l 一體式緊湊外殼，盲區僅 15mm(市場同類產品難以達到)，完美適配 20mm 近距檢測場景；
l 底部安裝不占用額外空間，契合手動光刻機的結構限制。
靈活可調+經濟高效
性價比拉滿
l 感應距離15-500mm可調，適配不同規格晶圓蛋糕盒；
l 0-10V模擬量輸出，兼具經濟型價格與穩定性能，適配研發及小批量生產需求。
數字化接口+智能維護
未來工廠的 “提前布局”
l 集成IO-LINK接口，實時采集過程數據與診斷信息;
l 搭配堡盟免費BSS軟件，實現預防性維護，降低停機風險。
U300亮點解析：技術細節見真章
U300超聲波傳感器具備多項核心優勢，在技術上有諸多亮點。
l 支持聲錐可調，擁有深錐、中等、寬錐三種模式，能夠適配不同尺寸晶圓的檢測需求，抗干擾能力強。
l 傳感器集成了動態平均與干擾濾波器，可減少環境噪聲影響，使測量更加穩定。其內置數據處理功能，能減輕PLC計算負擔，提升系統響應效率。
l 此外，500mm的測量范圍為同類產品中最大，可適應多樣化產線設計。
行業客戶表示：“堡盟U300解決了我們長期困擾的安裝空間與檢測精度矛盾，尤其是盲區控制和IO-LINK功能，既滿足了當下研發需求，也為未來產線升級打下了基礎。性價比遠超預期!”
用 “感知” 驅動半導體未來
在半導體制造向納米級精度邁進的今天，傳感器作為 “工業神經” 的作用愈發關鍵。堡盟U300以毫米級的檢測精度、靈活的適配能力，成為光刻機晶圓傳輸環節的 “隱形守護者”，為中國半導體研發與生產注入精密動力。
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堡盟集團
堡盟集團是國際領先的工廠自動化和過程自動化生產廠家之一。目前堡盟集團的足跡已遍布全球19個國家并擁有40家分公司。堡盟集團的產品業務主要涉及傳感器、運動控制、視覺技術、過程儀表和粘膠系統，其豐富的產品線覆蓋在各個行業并使客戶受益于堡盟所提供的完整咨詢和可靠服務的國際平臺。更多信息，請登陸 www.baumer.com。
